SPTS Pegasus是深反應離子蝕刻 (DRIE) 中最具成本效益的批量生產模型。

鴻鎷可提供：
1. 功能系統翻新
2. 機台搬遷、升級、維護和故障排除
3. 主要控制模組及備品（消耗品及非消耗品）
 

．功能系統翻新：

1.CPX Pegasus
2.MACS ICP HR
3. ICP SR
 

．主要控制模組及備品：

1. ESC：FB319626（200mm）、FB321943（150mm）、FB716296（150mm）
2. RF loops：Coil Power, Platen Power, SOI Kits
3. PM kit：完整的PM套件，包含工程服務。
4. 控制模組：Dry/turbo pumps, Chiller, APC, MFCs, Heater Controller……
5. 消耗性備品：擁有多於150項的庫存。
 

．經驗豐富的工程師團隊：

1. 3名訓練有素、經驗豐富的現場FAE
2. 可翻新超過20種元件（SR，HR，Pegasus，AOE，Rapier）
3. 現場進行故障排除與維護。
4. 現場進行作業與測試。
 

．過往經驗紀錄：

1. > 50次的安裝經驗
2. > 10次的機台搬遷經驗
3. > 20次的料件翻新經驗
4.  擁有充足且穩定的備品供應