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SPTS (STS) 工程服務
鴻鎷科技在翻修設備及ESC有豐富的經驗，尤擅於SPTS (STS)品牌。
若有任何SPTS設備需要翻修、升級或保養，敬請洽詢鴻鎷窗口。
• 服務經驗
STS/SPTS Pegasus CPX Etch System
STS MACS ICP HR Etch System
STS Multiplex DRIE
SPTS DRIE VPX PEGASUS ICP
STS MESC multiplex AOE
SPTS ESC
• 聯絡資訊
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