Heater Chuck


Heater Chuck 是專為半導體製程的高溫測試設計的設備,

透過穩定加熱性能來精確控制晶圓溫度,確保製程精度。

我司除了提供新品製造外,也提供維修與翻新服務,能夠

根據客戶需求修復或延長產品壽命,以降低生產成本並提

升效率。

產品介紹


特色與優勢

廣泛的溫度控制範圍:Heater Chuck 溫控範圍廣泛,可達 -65°C 至 +400°C,適應不同製程需求。
快速加熱與降溫:高效的溫控系統使其能快速達到設定溫度,提升工作效率。
穩定性與低噪聲:設計上採用低噪聲的 DC 供電模式,適合敏感測試環境的精確數據需求。
 

應用領域

半導體晶圓加工:應用於蝕刻、沉積等高溫處理步驟中。
封裝與測試設備:為晶片封裝完成後的測試提供精確溫控。
研發與實驗室應用:用於產品開發及材料科學研究中的溫度控制需求。

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