特點與優勢

專業翻新服務，延長產品壽命：我司針對 SPTS 設備使用的 ESC 提供專業維修服務，包括陶瓷板換板、金屬 Body 的整新，能有效恢復吸附性能，延長料件的使用壽命。
穩定性與精度：靜電吸盤能提供穩定且均勻的吸附力，避免晶圓在製程中移動或偏移，確保高精度操作。
高熱穩定性與均溫性：優異的導熱性能，可均勻分佈熱量，確保在離子植入、蝕刻或薄膜沉積等製程中保持穩定溫度，提升製程精度。
非機械式固定，降低污染與損傷：相較於傳統的機械夾持方式，ESC 不會對工件表面產生機械應力或損傷，適用於超薄晶圓與敏感材料加工。

應用領域

半導體製造：晶圓蝕刻、CVD、PVD、離子植入等製程中廣泛使用ESC來穩定晶圓。
顯示器生產：在LCD和OLED顯示器的製程中，使用ESC吸附玻璃或薄膜。